技术编号:1431074
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种清洁头,该清洁头包括长的内部管道(150),其将清洁气体从外部经由供气管道(100)供给至气体喷射室(170),使清洁气体从气体喷射口(153a)喷射;下罩(110),其被配置为包围内部管道(150);上罩(210),其与下罩(110)的上端部连结,且内部的空气积存部(220)与排气管道(200)连通;滑动引导部(161),其用于使两罩(110、210)沿长度方向相对地滑动而连结两罩;在下罩(110)的内表面与内部管道(150)的外表面之间,形成与气体...
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