技术编号:14322607
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及粉末或晶体的制备装置领域,尤其涉及一种化学气相沉积炉。背景技术硫化锌属于红外材料,其生产方法一般采用化学气相沉积法。硫化锌的生产装置一般包括以下几个部分:电气控制系统、供气系统、冷却循环水系统、化学气相沉积炉、收尘系统、真空系统以及尾气处理系统,其中,电气控制系统主要用于对生产过程中各个工艺参数以及设备进行控制,供气系统主要用于供应生产过程中所需要的工艺气体;冷却循环水系统主要用于给生产设备降温;化学气相沉积炉是整个生产装置的主体设备,用来沉积硫化锌产品,收尘系统主要用于对生产过程...
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