技术编号：14322664
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于直拉法生产单晶硅棒用设备技术领域，具体涉及一种直拉法生产单晶硅棒用的籽晶夹持装置。背景技术直拉法生产单晶硅方棒工艺中，简要过程是先将原料装入单晶炉炉内的石英坩埚中，将炉体密闭后通入保护气，通过加热器将料块加热至1400℃左右熔化，经过引晶、放肩、转肩、等径、收尾等操作，完成拉晶过程，最后关闭加热器停炉冷却。单晶硅棒的拉制，是通过单晶炉顶部的提拉装置将单晶硅棒提起，提拉装置工作简要原理是通过电机转动带动一个转轴旋转，转轴上面缠绕一根软轴籽晶绳，籽晶绳下端连接籽晶夹持装置，籽晶放置于籽...
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