技术编号:1434298
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种利用超声波多被清洗的所述微通道板表面进行清洗2~5分钟;利用不活泼气体Ar在高压电场作用下产生的高速运动的等离子体束流冲击被清洗的所述微通道板表面,该方法绿色环保、无污染,清洗效果佳。专利说明[0001]本发明有关于半导体电子器件,特别是一种。背景技术[0002]20世纪70年代在单通道电子倍增器基础上发展起来一种多通道电子倍增器MCP。微通道板具有结构简单、增益高、时间响应快和空间成像等特点,因而得到广泛应。[0003]但在MCP的工艺制造过程中,不...
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