技术编号:1434677
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种单晶硅硅片清洗制绒工艺,属于化工。具体步骤如下(1)采用自制硅片清洗剂针对硅片进行预清洗。(2)预清洗后的硅片,进入制绒槽体;制绒槽体中配置好制绒液,制绒液按溶液质量百分比计添加0.1%~5%的氢氧化钠,0.1%~3%的氢氧化钾,1%~5%的异丙醇,以及0.02%~5%的自制制绒添加剂;采用升温至反应温度70℃~90℃,进行制绒;制绒过程中开启超声波设备。(3)制绒时,槽体封闭;投片前,开启搅拌装置进行搅拌;制绒反应时间为15~40min。本...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。