技术编号:1436978
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及用于清洁线锯的线的装置。根据本实用新型,提供用于清洁适合于锯切半导体工件(130)的线锯的线(150)的装置(100、300、400、500、700)、方法和用法。装置(100、300、400、500、700)包含容器(110),容器(110)包含第一开口(115)。容器(110)由疏松固体颗粒(111)填充并经调适以使得线(150)能够经第一开口(115)通过疏松固体颗粒(111)。专利说明用于清洁线锯的线的装置[0001]本文所描述的主题...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。