技术编号:14375264
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及抛光液后处理领域,特别是涉及一种利用回收的硅溶胶抛光液制备硅酸的方法。背景技术硅溶胶为纳米级的二氧化硅颗粒在水中的分散液,属于交替溶液,硅溶胶抛光液是半导体器件、集成电路制造过程中的化学机械抛光的主要耗材,随着行业的不断发展,硅溶胶抛光液的用量逐年增大,废弃的抛光液也随之大批量产生,而如何有效处理这部分废液的一直是困扰着使用者的一大问题。硅溶胶抛光液外观呈乳白色液体,大多数为酸性或者碱性,直接排放会对环境造成严重的污染,目前厂家废弃硅溶胶抛光液的处理方法一般采用的方法为先进性酸碱中和,...
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