技术编号:14378196
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本公开涉及漏液检测领域,并且更具体地涉及一种测漏装置。背景技术APCVD机台装置内目前无漏水检测机制。当发生漏水情况时,不能及时发现,这可能会造成大量产品报废。由于APCVD机台内部温度较高,底部可达210℃,造成目前市场上已有的测漏装置无法在该环境下使用。实用新型内容为了克服上述问题,本实用新型提供一种可以检测机台装置内存在漏水情况的测漏装置。根据本实用新型的一方面,提供一种测漏装置,该测漏装置包括:绝缘层外壳,绝缘层外壳由耐高温的绝缘材料制成,绝缘层外壳一端为封闭结构并且在靠近封闭端的侧壁上...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。