一种常压高频冷等离子体处理装置的制作方法技术资料下载

技术编号:14392366

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本发明涉及等离子体处理装置,具体涉及一种常压高频冷等离子体处理装置。背景技术材料的表面改性处理是指在一定的外界条件下,材料外部物质和材料表面发生物理和化学反应,从而使材料表面状态发生变化或在材料表面产生新的元素和新的基团,最终满足实际应用的需求。等离子体是由部分电子被剥夺后的原子及原子团被电离后产生的正负离子组成的离子化气体状物质,宏观角度上其依然维持正负电荷相等的电中性状态。等离子体中部分气体解离形成的具有化学活性的等离子体活性离子会以物理撞击或化学反应的形式与材料表面进行相互作用,以实现对表...
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