技术编号：14393141
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种换能器模块、一种包括该换能器模块的装置以及一种制造该换能器模块的方法。具体地，根据本公开的一个方面，该换能器模块具有多个换能器。根据本公开的另一方面，该换能器模块具有容纳这些换能器的多个腔室。背景技术如已知的，MEMS(微机电系统)类型的换能器包括用于采集或检测环境信号或惯性信号的结构以及用于生成表示所采集或检测的信号或与其相关的电气量的装置。已知的换能器包括例如压力传感器、陀螺仪、加速度计等等。在电子设备中集成同一类型的多个换能器涉及使用专用集成电路板并且因此对空间占用具有显著的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。