技术编号:14394150
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体制造领域,特别涉及一种变压器。背景技术在CMOS射频集成电路(Radio Frequency Integrated Circuit,RFIC)中,平衡-不平衡变压器(balun)是一种重要的电学器件,主要用于实现不平衡信号和平衡信号之间的转换。电感是平衡-不平衡变压器的一个核心部件,电感的性能参数与不平衡变压器的性能直接相关。现有技术中,集成电路内的电感大多采用平面电感,例如平面螺旋电感;所述平面电感为金属导线在衬底或介质层表面绕制而成,与传统线绕电感相比,平面电感具有成本低、易...
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