技术编号:14394673
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种具有改进配置的MEMS三轴加速度计。背景技术众所周知,当前的微加工技术使得能够从半导体材料层开始制造所谓的MEMS(微机电系统)设备,这些半导体材料层已经被沉积(例如,多晶体层)或生长(例如,外延层)在牺牲层上,这些牺牲层经由化学蚀刻而被移除。例如,利用以上技术获得的惯性传感器、加速度计和陀螺仪在今天被广泛应用于例如汽车领域、惯性导航中、便携式设备领域、以及医学领域。具体地,已知利用MEMS技术制成的半导体材料的集成加速度计,这些集成加速度计包括感测质量块,联接至这些感测质量块的是...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。