技术编号:14395108
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。在半导体和太阳能电池技术中,众所周知,由各种材料制成的盘状基板(disc-shaped substrate)(在下文中被称为晶圆,这无关于其几何形状和材料)会经过各种不同制程。就此而言,晶圆常常经过单处理制程(single treatment process)以及批次制程(batch process),也就是说,同时处理若干晶圆的制程。对于单制程以及对于批次制程,在每种状况下都必须将晶圆移至所要处理位置中。在批次制程中,这通常通过将晶圆放置于所谓的舟皿中来实现,所述舟皿具有用于多个晶圆的空间。在...
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