技术编号:1440905
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种清洗设备,特别涉及一种多组卡销式晶圆清洗设备。包括底座和设置在底座上方的喷嘴,所述喷嘴的喷射口朝向所述底座,其特征在于所述底座上设有多个卡销组,晶圆通过所述多个卡销组固定在所述底座上;所述底座上还设有用于控制所述卡销组开启和关闭的控制装置。本实用新型在底座上使用多个卡销组,通过控制装置对各个卡销组分开控制,使清洗过程中晶边和卡销接触点位置可以发生变化,从而避免了接触点位置固定导致的接触点始终无法被清洗到的弊端,方案简单易于实现,且清洗效果...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。