技术编号:14416441
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及先进制造中的微操作技术领域,更具体地,涉及一种基于放大机构的微动平台。背景技术近年来,随着科学技术和工业技术的不断进步,微电子制造、超精密机械制造、微机器人操作、精密测量光学仪器及生物医学操作等领域飞速发展,迫切需要能够在纳米级精度上进行定位和操作的系统和装备。在这些领域中,具有纳米精度的微动平台是其核心部件,其研究倍受国内外学者的青睐。传统的机械结构,如电机、齿轮、铰链等由于受到装配及运动间隙、摩擦、阻尼等因素的影响,无法达到纳米精度,而以压电陶瓷作为驱动器,广泛应用于具有纳米精...
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