技术编号：14431137
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于机加工辅助设备技术领域，具体涉及一种一体式高速超精密定位二维平台。背景技术随着微电子产业快速发展，大行程超精密定位平台作为关键设备的作用性已经显现，特别是在引线键合及光刻等微电子制造领域中，更需要运动平台完成高加速度超精密定位运动。目前，高加速度超精密运动平台一般通过两个直线电机的并联驱动实现二维空间完成长行程和快速定位，这就扩大了运动平台占用空间，不利于整机设备空间设计及成本节省。在实现高加速超精密的同时，实现运动平台占用空间有效缩减具有重要意义。对于机加工时间缩短、生产效率提高...
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