技术编号:14440965
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于光学零件检测领域,涉及一种使用卧式干涉仪检测球面镜面型的方法。背景技术对于光电类产品,成像质量是判别一套光学系统优劣的重要指标,每一块光学零件的面型指标是保证最终成像质量好坏的决定性因素。目前,球面镜和平面反射镜主要依靠干涉仪检测数据作为判定单块光学零件面型质量的依据。在某些光学系统中,某球面镜口径较大,且所镀膜层易发生形变,如图1所示,在使用卧式干涉仪测试时,待测球面镜受自身重力影响,导致所测值非真实值。在生产过程中,由于这种球面镜数量较少,若购买高精度立式干涉仪成本较高,所以为降低...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。