技术编号:14452564
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及多晶硅铸锭领域,具体地说是一种高纯度低杂质的多晶炉热场保温层及其制备工艺。背景技术碳杂质是多晶铸锭中最主要的杂质之一,严重影响太阳电池的效率,因此,对碳杂质的预测和控制是制备高品质晶硅铸锭的有效手段,多晶铸锭过程中碳杂质输运的主要载体是硅熔体和氩气。目前,多晶铸锭炉保温材料主要采用碳纤维编织粘合烧结而成的碳毡,所用保温碳毡厚度一般为90mm,分两层固定在钢结构笼架内,碳毡密度低有空隙,在高温铸锭过程中会与硅的气氛氧化物反应生成的CO,以及其挥发出的灰分会随惰性气体输运进入到硅熔体中,从...
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