技术编号:14459430
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于圆形基片夹持的工装,用于夹持基片。背景技术激光陀螺仪中高反射基片的表面质量直接决定了激光陀螺的锁区大小,是影响激光陀螺仪精度性能的关键因素之一,要求反射基片表面达到超光滑表面要求。反射基片包括平面片和球面片,外形都为圆形。反射基片经光学超光滑表面加工完后,要经历化学清洗,以及镀膜等环节。基片需要经历反复夹持操作。激光陀螺仪中平面和球面反射片的外圆倒角分别为0.3mm~0.5mm、0.05mm~0.25mm范围内。在实际夹取反射片过程中,通常采用两脚式镊子,镊子与基片倒角部位...
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