技术编号:14472107
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及减压扩散炉尾气处理领域,尤其涉及一种减压扩散炉尾气冷却装置。背景技术现阶段低压扩散炉正常工作时均配备有真空泵,为了防止低压扩散炉工作时炉管内产生的高温氯气、偏磷酸蒸汽等腐蚀性气体直接进入真空泵中而影响真空泵的使用寿命,需要在石英管排废口与真空泵之间设置冷凝装置。采用此装置时,一方面可以降低进入真空泵的尾气温度,保证真空泵正常工作;另一方面,此装置还可以使扩散工艺时产生的各种腐蚀性气体冷凝成液态并暂时储存在冷凝装置内,防止这些气体进入真空泵而损伤泵体。现有技术中,冷却系统中较多采用直通式...
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