技术编号：14473473
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种混合等离子效应辅助的槽式波导TE模检偏器，属于集成光学技术领域。背景技术飞速发展的光通信技术以及逐步拓宽的应用领域极大地促进了光子器件的研究与发展。硅基光子集成器件因与标准CMOS工艺兼容，且具有低成本、低功耗以及优越性能等优势越来越受到研究人员的关注。集成光子器件通常采用的高折射率差硅基材料系虽然能够有效减小器件的尺寸，但是也引入了显著的偏振相关性。因此光子回路中光的偏振状态需要精准控制。硅基槽式波导作为一种重要的波导结构已经广泛应用到多种硅基光子器件的研究和设计中。在基于硅基槽...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。