技术编号:14476124
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。技术领域本说明书等所公开的发明涉及一种半导体装置。背景技术近年来,如液晶显示器(LCD)等的平板显示器得到广泛普及。在如平板显示器等的显示装置中的行方向及列方向上配置的各像素中,设置有用作开关元件的晶体管、与该晶体管电连接的液晶元件、以及与该液晶元件并联连接的电容器。作为该晶体管的半导体膜的半导体材料,通常使用如非晶硅或多晶硅(polycrystalline silicon)等的硅半导体。具有半导体特性的金属氧化物(以下称为氧化物半导体)能够用于晶体管的半导体膜。例如,已公开有一种使用氧化锌或I...
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