技术编号:1449818
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种探针清洁装置以及探针的清洁方法,其中,探针的清洁方法包括提供待清洁的探针;采用清针片对所述待清洁的探针进行第一清洁处理;采用毛刷对所述待清洁的探针进行第二清洁处理;对所述待清洁的探针进行第三清洁处理,所述第三清洁处理为对所述待清洁的探针进行抽气处理;所述第一清洁处理、第二清洁处理和第三清洁处理为同时进行。本发明提高了探针清洁的效率,增强去除杂质的能力,缩短了探针清洁的时间,从而改善了晶圆测试结果的准确性和可靠性,缩短晶圆测试的时间,提高了生产效率。专利...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。