技术编号：14499452
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种具有可移动结构的微机电设备(具体地为微反射镜)。背景技术MEMS(微机电系统)设备已知具有使用半导体材料技术制造的反射镜结构。这些MEMS设备例如在用于光学应用的便携式装置(比如，便携式计算机、膝上型电脑、笔记本计算机(包括超薄笔记本计算机)、 PDA、平板计算机、蜂窝电话以及智能电话)中，具体地用于以期望的形式引导光源生成的光束。就面积和厚度而言，这些设备由于其较小尺寸而能够满足关于空间占用的严格要求。例如，微机电反射镜设备用于能够在一定距离处投影图像或者能够生成期望的光图案...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。