技术编号：14505115
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本申请涉及传感器。更具体地，本申请涉及具有压敏膜片结构的半导体压力传感器。背景技术差压传感器测量流体的两个测量点(例如，P1和P2)之间的压力差。差压传感器(或换能器)将压差转换为可测量的电信号，以确定差压。例如，在油管中可以使用差压传感器来测量燃料管中的孔之前和之后的压力，从中可以确定油的流量。这种装置通常使用基于微机械或微机电系统(MEMS)的技术制造。用于制造压力传感器的一种常见技术是将MEMS装置附接到诸如陶瓷或印刷电路板(PCB)衬底的衬底上，伴随蚀刻和接合技术以制造非常小的廉价装置。...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。