技术编号:14505529
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的实施例涉及一种沉积装置及利用该装置的沉积方法,尤其涉及一种可以使沉积物质均匀分布的沉积装置及利用该装置的沉积方法。背景技术随着信息化技术的发达,作为用户与信息之间的连接媒介的显示装置的重要性凸显。响应于此,液晶显示装置(Liquid Crystal Display Device)和有机电致发光显示装置(Organic Light Emitting Display Device)之类的显示装置(Display Device)的使用正在增加。沉积装置用于将沉积物质沉积到包括液晶显示装置和有机...
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