技术编号：14509150
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及具有通过流体的流路互相连接的多个流体控制器件(例如，流体控制阀或流量控制器等)的流体供给控制装置。而且，本发明涉及用于构成该流体供给控制装置的流路块，更详细地，涉及结构为通过在预定的排列方向上将多个上述流体控制器件排列并安装从而能够形成上述流体供给控制装置的流路块。背景技术这种流体供给控制装置例如可以作为半导体制造工序中的气体供给装置使用。具体地，例如，在下述专利文献1中公开的气体供给单元中，在内部形成有气体流路的流路块上通过螺栓固定有多个流体控制器件。此外，这些多个流体控制器件沿流路...
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