技术编号:14546320
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种银靶材及其制备方法,尤其是一种溅射旋转银靶材及其制备方法。背景技术目前,包括热喷涂在内的靶材制备工艺需要先将金属粉体材料以等离子体或火焰熔化后再喷涂,尤其是,热喷涂技术是把金属粉体加热到熔融或半熔融状态并高速喷射到基管表面上形成涂层。由于热喷涂涂层具有特殊的层状结构和若干微小气孔,不能获得较高的密度,一般等离子喷涂靶材的密度为理论密度的90%左右,而且涂层与底材的结合一般是机械方式,其结合强度较低而且很容易氧化。热喷涂方法制备的靶材在杂质含量的进一步降低上,存在技术瓶颈。目前真空镀...
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