用于连通激光器和真空环境的管道及其制造方法与应用与流程技术资料下载

技术编号:14558368

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本发明属于高精度激光器制造技术领域,具体涉及用于连通激光器和真空环境的管道,以及其制造方法与应用。背景技术随着精密光电器件制造技术不断发展,高精度的气体激光器已经在生物制药、材料检测、惯性导航等诸多领域占据了越来越重要的地位。一些高精度的气体激光器在制造工艺中,需要进行复杂的充排气工艺,以保证激光器内吸附的杂气分子被有效的排除,然后充入高纯度的工作气体。传统的连接方式是使用手持火焰喷灯在激光器和真空环境间吹接一根玻璃管道,利用该玻璃管道对激光器进行抽真空和充入工艺气体等操作。这种方法具有以下三个...
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