技术编号:14569356
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及工件测量领域,尤其涉及一种线扫描表面形貌测量装置。背景技术目前测量工件表面形貌的方案之一是:将按一定规律排列的测量图形投射在被测工件表面,形成测量光斑;测量光斑经待测工件表面反射后成像到绝对参考图形面;工件的表面形貌变化导致参考图形面上测量光斑相对于参考图形移动,透过参考图形的光通量也随之变化;根据光通量的变化可以反算出工件的微观形貌。为避免光源的扰动给测量带来不确定性,该方案往往需要调制器,使测量光斑相对于参考图形做高频周期性运动;在一个周期内记录相位相差π的两个时刻的光通量,使之作...
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