技术编号:14573434
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及半导体光电芯片制造技术领域,特别涉及一种焊盘结构的制作方法及倒装LED芯片的制作方法。背景技术自从20世纪90年代初商业化以来,经过二十几年的发展,GaN基LED已被广泛应用于户内外显示屏、投影显示用照明光源、背光源、景观亮化照明、广告、交通指示等领域,并被誉为二十一世纪最有竞争力的新一代固体光源。然而,对于LED来说,要代替传统光源进入高端照明领域,其发光亮度的提高是至关重要的。倒装LED芯片的基本结构是将正装LED芯片倒装焊接于导电导热性能良好的基板上,使发热比较集中的发光外延层更...
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