用于传感器应用的有贯穿端口的半导体封装体和制造方法与流程技术资料下载

技术编号:14586446

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本申请涉及多种半导体封装体、特别涉及具有贯穿端口的多种半导体封装体和制造这种封装体的多种方法。背景技术对于MEMS(微机电系统,microelectromechanical system)和其它传感器应用和封装体,通常在外部环境和传感器结构之间提供专用链路(端口)。大多数传感器结构对颗粒和污染物是非常敏感的。因此,端口应提供防止颗粒和污染物的保护。最常见的MEMS封装体可以涉及两种基本类型:开放式空腔封装体(OCP:Open Cavity Package)和模制空腔封装体(MCP:Molded ...
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