技术编号：14590652
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种石英舟，尤其是一种衬底自动挟式石英舟。背景技术石英舟是扩散沉积工艺的必备工具，石英舟耐高温不变形，不污染器件而且能重复使用，尤其是近几年来由于太阳能产业发展迅速，人们使用石英舟的式样也越来越多。目前普通的石英舟没有专门设计衬底固定结构，材料沉积所需样品源放置在石英舟的前端，沉积用的衬底倒扣于石英舟上方，以维持衬底和样品源之间的距离，从而保证沉积的效果。在材料沉积工艺过程中，石英舟及扣在石英舟上方的衬底需送入反应腔室内部时，由于气流和振动的影响，衬底很有可能会滑落或者倾斜，因而影响了...
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