技术编号:1459428
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及,属于化学品制备领域。背景技术目前工业生产中采用的传统清洗技术是使用硫酸、硝酸、盐酸、双氧水和氨水等化学试剂进行超声或煮,这些试剂不禁成本较高,而且腐蚀性很强,危害操作人员的安全和健康,污染环境。随微电子工业的发展,对其纯度和颗粒度等理化指标的要求越来越苛刻,清洗剂的成本也有大幅度的提高。发明内容为了克服现有技术的缺点,本发明提供一种用于超大规模集成电路的清洗剂组合物及其制备方法。本发明是通过以下技术措施实现的。本发明的清洗剂组合物基本组成为组份...
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