技术编号：14595508
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。不同的实施方式总体上涉及一种MEMS装置和一种用于制造MEMS装置的方法。背景技术MEMS装置可以例如用作麦克风或扩音器。这种MEMS装置可以例如被构造有膜和一个或者两个电极，该电极也称为背板或背板电极或者以相应的英语术语“Backplate”或“Backplate-Elektrode”表示。膜可以与电极或两个电极(分别)通过一个气隙分隔开。当膜响应于声波而振动时，声音通过探测膜与电极或多个电极之间变化的电容而被转换成电信号，或者反之。在目前实现的膜尺寸具有700至900μm范围内的直径的情况中...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。