技术编号：14607411
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及微观三维形貌测量领域，具体为一种多光场调制的三维形貌测量方法。背景技术随着应用需求的提升，要求微纳器件具有更大的信息容量，促使微纳器件由二维、微米级向三维、纳米级发展，也就对纳米级三维结构检测技术提出了迫切需求。在众多测量方法中，光学测量由于其具有非接触、非破坏、测量速度高、系统结构简单、环境适应性强等优点，应用十分广泛。典型的光学测量手段包括激光共聚焦扫描、椭偏仪、宽光谱显微干涉技术、微视觉测试技术、数字全息技术等。其中数字全息技术能够不采用额外的光学成像系统，直接通过记录经被测物体...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。