技术编号:14615120
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种气相沉积炉,具体涉及一种气相沉积炉用均匀进气的装置。背景技术化学气相沉积炉在对复合材料进行增密的过程中,需要引入碳源气体、硅烷气体等相关的反应气体,在1000℃以上的高温下裂解生成碳、碳化硅等物质吸附在具有空隙的预制体内部,最终使纤维编织体致密化形成碳炭纤维增强复合材料。由于工作温度为1000℃以上,而通入的反应气体一般为室温或低于室温,气体从炉体顶部进入炉内后温度升至工作温度需要一定的时间,因此会导致沉积炉顶部区域炭纤维上炭的沉积速率要低于其它区域,沉积效果差而且浪费反应气体...
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