技术编号:14615121
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及薄膜材料制备技术领域,更具体而言,涉及一种薄膜材料制备装置。背景技术溶胶-凝胶技术是一种以金属有机或无机化合物,或两者的混合物为研究对象,经过水解缩聚过程,由溶胶逐渐凝胶化,而获得氧化物或其它化合物的一类薄膜材料制备工艺技术。从20世纪80年代开始,溶胶-凝胶法就开始被广泛应用于粉末材料、陶瓷材料、发光材料、铁电材料、磁性材料、涂层材料及其它结构形式和功能特性的材料的制备等。其中,涂层材料方面,溶胶-凝胶技术可以获得高度均匀的多组分氧化物涂层和具有狭窄粒径分布的纳米级粒子尺寸的涂层...
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