技术编号:14629584
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及OLED配套设备技术领域,具体涉及一种高效有机蒸发坩埚清洗系统。背景技术有机电致发光(OLED)技术的研究起源于20世纪60年代,随着1987年邓青云博士在美国柯达公司展现了OLED器件的实用前景,OLED技术不断开拓探索,广泛应用于显示和照明等实用领域,已形成了完备的量产体系。其中,真空蒸镀设备作为OLED技术应用的核心,完美的改变了OLED材料的器件制备工艺,大幅提高了OLED器件制备的精度和使用时间,提高了量产的效率和良品率,是目前使用最为广泛的OLED生产工具。而在真空蒸镀...
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