一种新型真空舱前级泵机组的制作方法技术资料下载

技术编号:14648774

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本实用新型涉及一种新型真空舱前级泵机组,属于真空泵机组技术领域。背景技术水环真空机组以罗茨泵为主泵,以水环泵为前级泵串联而成的,水环真空机组选用的水环泵成为前级泵比其它的真空泵更为有利,因为它不但克服了单台水环泵使用时极限压力差(机组的极限压力比水环泵的极限压力有很大的提高),在一定压力下抽气速率低的缺点,而且与此同时又保留了罗茨泵能迅速工作,有比较大抽气速率的优点。它能够适应抽除大量的可凝性蒸汽,尤其是当气镇油封机械真空泵排除可凝性蒸汽能力不够,或使用的溶剂能使泵油恶化进而影响性能,或者是真空...
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