质量流量控制装置和压差式流量计的诊断方法与流程技术资料下载

技术编号:14649461

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本发明是涉及一种质量流量控制装置的发明,涉及一种基于流体的压力或压差的测量值来控制流体的质量流量的质量流量控制装置。并且,本发明是涉及一种诊断压差式流量计发生异常的方法的发明,也涉及一种构成质量流量控制装置的压差式流量计的诊断方法。背景技术质量流量控制装置(质量流量控制器)是由用于测量流体的流量的流量计、用于控制流体的流量的流量控制阀、用于控制该流量计和该流量控制阀的控制电路以及其他零件构成的控制设备。质量流量控制装置例如以在半导体的制造工艺中控制向室内供给的气体的质量流量等为目的而被广泛地使用...
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