技术编号：14655830
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于微纳加工制造领域，尤其涉及一种紫外光固化微压印的装置及方法。背景技术随着科学技术的不断发展，人们对产品加工精度的要求也变得越来也高。微纳制造技术此时应运而生，使得制造业的制造水平有了极大提高。目前，微纳制造技术已经成具有国家战略高度的高新技术，对于下一代生物医学、信息技术产业、光学产业、环保产业等都具有非常重要的意义。微压印技术在制造微纳器件方面具有很大的应用前景。微压印技术具有模具成本低、微结构复刻精度高、工艺简单等优点，是目前利用聚合物材料制造微纳器件的重要加工技术之一。微压印技术...
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