技术编号：14663822
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种硅烷基胺的纯化方法，特别是一种三甲基硅烷基胺的精制方法。背景技术三甲硅烷基胺(化学分子式为N(SiH3)3，在本发明中简称“TSA”)是易变的、无色的、 可自燃的和可容易地水解的液体，其具有-105.6℃的熔点和+52℃的沸点。含氮的硅化合物如三甲硅烷基胺是半导体工业中重要的物质。使用TSA制备氮化硅层。更特别地发现了TSA在芯片制造中作为氮化硅层或氧氮化硅层的层前体中的应用。由于其在芯片制造中的用途，重要的是能够安全、可靠、一致地以所要求的通常为高纯度的质量制备三甲硅烷基胺。CN...
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