技术编号:14671198
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于位移传感器领域,更具体地,涉及一种磁悬浮触针位移传感器。背景技术接触式测量以其稳定可靠、测量范围大、结构简单、抗干扰能力强、分辨力较高等优点被广泛应用各种场合,比如测量表面的微形貌,工件表面在工作台的带动下以一定的速度运动,触针实时地贴合表面,表面的粗糙度,纹理结构使得触针发生微小的上下移动,这种上下移动可以通过光学干涉计量系统,再转化成电信号测量。接触部分的触针,其针尖通常是以平坦或圆形尖端终止的金字塔或圆锥形金刚石,触针锥形尖端圆弧半径一般为2、5或10μm,锥角60°或90°...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。