技术编号:14672255
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及光栅尺领域,尤其涉及一种判断光栅尺参考点绝对位置的装置及方法。背景技术光栅尺是精密测量、精密加工中的重要测量工具,光栅作为光栅尺的关键部件,在测量中起参考刻度的作用。其中透射式光栅一般用于莫尔条纹光栅尺,反射式光栅可用于干涉式光栅尺,干涉式光栅尺的光栅制作成本更低,且激光干涉法的测量精度高于莫尔条纹法,因此激光干涉法广泛应用于光栅尺。干涉式光栅尺在工作光栅匀速移动时输出正弦电信号,通过信号处理可以获知光栅的增量位移,故称为增量式光栅尺;其需要配合一个或是一系列经过绝对位置标定的参考点,...
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