技术编号：14674665
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种匹配器动态测试方法。背景技术射频工艺已经广泛运用到半导体芯片、液晶面板、太阳能、LED制造行业中。工业生产中的射频回路是射频电源到匹配器再到腔体，而腔体就是Wafer做工艺的载体；半导体公司工艺加工(刻蚀、薄膜等)时，腔体内气体、温度等环境的变化，就要通过匹配器实时的变化来实现工艺的正常生产；匹配器的自动匹配功能正是应对腔体环境的变化来实时改变阻抗，使得产品在腔体内保持一个理想的状态做完工艺。而对匹配器的单独测试就是对匹配器的工作状态进行完整全面的评估，可以确保半导体等产品生产时的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。