一种柔性基板的吸附装置的制作方法技术资料下载

技术编号:14677881

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本发明涉及一种面板制程装置,尤其是涉及一种柔性基板的吸附装置。背景技术近年来,中小尺寸显示市场发生了巨大变化,AMOLED出货量快速提升,发展势头迅猛,尤其是柔性显示技术为厂商提供了更多创新空间柔性,AMOLED因具有不需背光源、对比度高、轻薄、视角广、反应速度快、等优异之特性,逐渐被认为是下一代最具前途的信息显示产品之一。业界更有显示的未来看OLED,OLED的未来看柔性显示。虽然柔性AMOLED的发展非常迅猛,但其生产中仍存在一些较难克服的技术问题。现行柔性AMOLED在蒸镀制程后,制程面会...
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