技术编号:14681636
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。公开的实施方式涉及一种基板液处理装置和基板液处理方法。背景技术以往,已知一种通过使基板浸在贮存有处理液的处理槽中来对基板进行处理的基板液处理装置(例如参照专利文献1)。在上述基板液处理装置中,通过使基板以基板的板面与水平方向正交的姿势(以下称作垂直姿势。)进行升降来对基板进行蚀刻处理。专利文献1:日本特开2015-56631号公报发明内容发明要解决的问题然而,在上述基板液处理装置中,在从处理槽取出基板时,附着于基板的处理液由于重力而向下方流动,因此存在有在基板的上下方向上发生处理不均的风险。实施...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。