技术编号:14681646
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种清洗系统及其清洗方法,尤其涉及一种用于制绒工序前的多晶硅片清洗系统,属于太阳能光伏技术领域。背景技术多晶硅太阳能电池兼具单晶硅电池的高转换效率和长的电池寿命以及非晶硅薄膜电池的材料制备工艺相对简化等优点的新一代电池,其工艺制造流程是:1、清洗湿法制绒;2、扩散制作PN结;3、背腐蚀去磷硅玻璃;4、PECVD镀膜;5、丝网印刷电极烧结;6、测试包装。在多晶硅太阳能电池制造过程中,制绒作为太阳能电池生产中的第一道工序,其作用主要有两个:第一,制绒可以祛除硅片表面的杂质损伤层,而损伤层是...
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