技术编号：14681742
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及扩散源瓶装置技术领域，特别是涉及一种新型扩散源瓶装置及扩散源瓶系统。背景技术现有的扩散源瓶，随着源液的使用，源瓶液位降低，扩散的稳定性受到影响，液位降低到一定程度时，无法继续作业，此时就需要换源。现有的扩散源瓶需要宕机才可以进行换源，对换源的时间要求较高，受环境影响也较大，换源操作麻烦，换源效率低。目前，亟需一种便于换源的新型扩散源瓶装置。实用新型内容本实用新型的目的在于提供一种新型扩散源瓶装置及扩散源瓶系统，以解决现有技术中存在的扩散源瓶装置不便于换源的技术问题。为了实现上述目的...
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